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년, 월, 일 |
특허명 |
상태(출원중,등록,인정등) |
발행기관 |
| 1999.06.27 |
연속적 냉매 순환식 확산펌프의 배플 | 특허번호 0225323 | 특허청 |
| 2000.05.04 |
반도체 제조용 버블러 | 특허번호 0363063 | 특허청 |
| 2005.05.04 |
웨이퍼 가열장치 | 특허번호 0363062 | 특허청 |
| 2000.12.29 |
다중
챔버의 반돛공정 장비용 웨이퍼 | 특허번호 0388307 | 특허청 |
| 2000.10.26 |
반도체 공정장비용 자동 웨이퍼 이송장치 | 실용신안번호 0219127 | 특허청 |
