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| 정부 프로젝트 및 지원 인증 | |
| 2001. 5 |
중소기업 기술 혁신 개발과제 선정업체 |
| 2000. 12 |
중소기업청 지정 기술경쟁력 우수기업체 지정 |
| 2000. 11 |
정보통신부 정보화 촉진기금 지정업체 |
| 2000. 7 |
수출유망 중소기업 지정 |
| 2000. 3 |
정보통신부 정보화 촉진기금 지정업체 |
| 1999. 3 |
중소기업청 기술혁신 개발 사업 선정업체 |
| 1998. 8 |
통상산업부 에너지 절약 기술 개발 과제 참여 |
| 1998. 8 |
중소기업 진흥공단 벤처기업 지원자금 승인업체 |
| 1998. 5 |
통상산업부 공업기반기술 개발 선정업체 |
| 1998. 3 |
정보 통신부 정보화 촉진기금 지정업체 |
| 특허 현황 | |
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2003.06.09 |
다중 챔버의 반도체
공정 장비용 웨이퍼 자동이송시스템(특허출원) (특허 0388307호) |
| 2002.11.19 |
반도체 제조용 버블러(특허획득) (특허 제0363063호) |
| 2002.11.19 |
Wafer 가열장치(특허획득) (특허 제0363062호) |
| 2001.10.19 |
서핑형의 도파관을 이용한 마이크로웨이브 플라즈마 하강흐름 셀 (특허출원) |
| 2001.09.28 |
첨두 자기장을 이용하여 거대 입자를 여과한 대면적 플라즈마 발생 방법(특허출원) |
| 2001.01.31 |
인쇄회로 기판의
플라즈마 드릴공정시 기판사이의 고전압을 인가하는 방법 |
| 2001.01.31 |
펄스형 자외선조사에 의한 세정 및 표면처리 장치(특허출원) |
| 2000.12.30 |
펄스형 저온 자외선을 이용한 유기발광 소자의 봉합공정(특허출원) |
| 2000.12.30 |
유기발광소자 생산용 장비의 소자정렬(특허출원) |
| 2000.12.29 |
다중 챔버의 반도체 공정 장비용 웨이퍼 자동이송시스템(특허출원) |
| 2000.10.26 |
반도체 공정장비용 자동 웨이퍼이송장치(실용신안)(실용 제0219127호) |
| 2000.10.26 |
반도체 공정장비용 자동게이트 밸브(특허출원) |
| 1996.06.27 |
연속적 냉매순환식 확산펌프의 배플(특허획득)(특허 제0225223호) |
